“TFT濺射-干刻設備”招標公告
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公告摘要
各有關單位請于2012.12.18前與公告中聯系人聯系，及時參與投標等相關工作，以免錯失商業機會。
部分信息內容如下：（查看詳細信息請登錄）
招標編號：***********
根據《中華人民**國政府采購法》《***政府采購招標暫行辦法》和《****儀器設備招、投標管理辦法》，********新型顯示技術及應用集成教育部重點實驗室因教學、科研發展需要，現公開邀請招標采購TFT濺射-干刻設備。
一、 設備需求
*. 設備名稱：TFT濺射-干刻設備。
*. 技術要求：
要求可刻蝕Poly-Si、Si、SiO、SiN、W、Mo、GaN、GaAs等材料，樣品可以加負偏壓（*－***V），刻蝕均勻區不低于*inch.，均勻性±*%，對硅（Si）刻蝕速度**-***nm/min.可調。
*.*. 真空室
*. *.*真空室體：
*. *.*.* 真空室總體要求：立式前開門，膠圈密封區域具有水冷功能；優質不銹鋼***，內表面拋光，外表面噴砂電解拋光處理。真空室尺寸：Φ***×***mm；抽氣速率可調整。
*.*.*.* 室體內壁：表面光潔；室體外表面整潔；焊縫整潔；冷卻系統布置整潔。
*.*.*真空室門
*.*.*.*真空室門外觀：設備整體外觀美觀；真空室門冷卻水管：合理考慮引入位置及接頭方式，并配置有氣壓式自動保護功能；真空室門引線：對于測試及加熱引線，合理設計引入位置。
*.*.*.*真空室門密封：真空室門密封面采用鑲條方式。
*.*.*.*真空室門連接：鉸鏈：在高強度和安全系數的基礎上，考慮視覺效果的美觀；關門機構及把手：操作方便，使用可靠，外觀考究外形大小及顏色與整體匹配協調；保護開關：采用可靠的保護開關。
*.*.*觀察窗
*.*.*.*觀察窗型： **mm。
*.*.*.*密封及保護：窗口加裝石英玻璃，安裝拆卸方便；安裝自動遮擋擋板，密封可靠,轉動靈活,操作方便,不能影響觀察視線。
*.*.*.*位置: 前開門居中。
*.*.真空系統
*.*.* 真空性能(腔室內無樣品為準)
**.*.*.* 極限真空:*×**-*Pa。
**.*.*.*恢復真空時間:大氣至*×**-*Pa≤**min。
*.*.*.* 漏氣率:在極限真空達到后關閉所有閥門, **小時后，真空室內的真空度≤** Pa。
*.*.*.* 測試方法:按照國標GB*****真空鍍膜機通用技術條件。
*.*.* 真空系統配置:復合分子泵+直聯式旋片真空泵
復合分子泵：抽速：≥****L/s；直聯式旋片真空泵：抽速*L/s。配排氣管連接頭。
*.*.*真空管道、泵及真空閥門:
*.*.*.* 真空管道設計盡可能簡潔,加工工藝及外觀考究。預抽真空管道連接采用金屬波紋管。結構緊湊,維修方便。
*.*.*.*超高真空閥門:高真空閥門采用手動；采用優質不銹鋼***材料制造。
*.*.*.* 真空室抽氣口:抽氣口設置在腔室底部非刻蝕區域,抽氣口配置擋板，確保室內氣流均勻，同時保護分子泵避免雜物掉入，方便清洗。
*.*.*.* 復合分子泵: 分子泵進水路口帶水流保護。
*.*.*.* 所有真空泵有缺相保護提示及報警功能。
*.*.*.* 真空室放氣閥:位置:真空室底部；放氣口設置可靠過濾裝置；充氣速率:刻蝕完成后放氣至開門時間約*分鐘。
*.*.*氣體流量控制系統
數字顯示四路控制，一路流量控制（*－**SCCM），一路流量控制（*－***SCCM），一路流量控制（*－***SCCM），一路流量控制（*－***SCCM）。（可根據用戶要求調整）
*.*.*真空系統測量及控制:
數字真空計一套；高真空測量點:真空室頂部測量點；抽氣室與高閥之間預留測量點。低真空測量點:真空室頂部；在管道上預留低真空測量點。
*.*.*真空系統操作:
（西門子或相當于）PLC進行可編程控制器控制,可通過選擇開關選擇自動和手動兩種方式,并具有水流量、氣壓、水溫等故障判定功能。真空保護及互鎖功能。觸摸屏尺寸大于**寸。（可根據用戶要求制定）
*.* 工件升降系統及工件盤
*.*.*、工件盤可升降。
*.*.*、鋁制圓形工件盤，直徑大于φ***mm，確保*inch樣品區域內刻蝕區均勻。
*.*.*、基片與刻蝕源之間距離***～***mm可調，由腔外手動波紋管調節機構控制。
*.*.*、刻蝕區域偏壓設計，偏壓方向可調，電壓*-***V可調。
*.* 樣品冷卻單元
基片在刻蝕過程中需具有冷卻功能，保證刻蝕過程溫度控制在**度以下，面內均勻性為*%。熱電偶探測點:位置固定設計，接近刻蝕樣品。
*.*真空室烘烤單元
*.*.* 烘烤溫度在***℃,烘烤啟動后連續工作時間在*小時以上。
*.*.* 加熱源采用鎧裝電熱絲加熱器：加熱功率*-*kw，配備日本導電溫控儀及電力組件，溫度PID自動控制、調節（可以在人機界面里控制）。限幅給定有手動和自動兩種切換形式。
*.*.* 熱電偶探測點:位置固定設計，遠離刻蝕樣品。
*.* 刻蝕源(ICP機理源)
*.*.* 采用自動匹配電感耦合（ICP）工作模式，等離子體密度高，刻蝕速度快，方向性好。
*.*.* 技術參數:功率*KW ；可調電容采用真空陶瓷電容，具備自修復特性，電感采購水冷無氧銅管，密封耐熱設計，確保使用安全。
*.*.* 振蕩源和室內隔離：采用**度特種陶瓷材料，膠圈密封、水冷。
*.*.* 工作頻率：*MHz中頻或者**.**Hz射頻。
*.*.* 工作頻率：*MHz中頻或者**.**Hz射頻。
**.*.* 刻蝕均勻性：片內均勻性在±*%；片與片間的均勻性小于*%；測量范圍為*inch內*點測量。
**.*.* SiO*，ITO等刻蝕速率**nm到***nm/min 可控。
*.* 電氣控制：
*.*.*電器控制系統采用PLC顯示控制方式, 整機控制手動模式，具有可靠的保護互鎖和報警提示功能。
*.*.*控制內容：真空操作系統、基片臺升降、加熱烘烤、管路清洗、偏壓設置、水路報警等。
*.*.* 電源：三相***V/***V,**Hz,功率**ＫＷ。
*.*.*電控柜：外形尺寸≦************(mm)。
*、 主機、附件詳細清單
*.*、設備整機 *套
*.*、電感耦合諧振室和自動匹配射頻功率電源（AE或相當于） *套
*.*、偏壓電源 *套
*.*、流量控制器 *套
*.*、真空測量系統 *套
*.*、PLC觸摸屏 *套
*.*、用戶要求配置易損件：此次要求配送如下數量（見下面第*點中表格）的易損件。
*. 易損、易耗件清單和價格表
請投標人提供所投設備的備品備件、易損、易耗件（見下表）清單和價格表，并承諾在質保期后*年內以不高于上述清單價格按招標人不時要求的數量及合理時間向招標人提供該易損件和備品備件。
序號 名 稱 材 料 單位 數量
* 密封圈 氟橡膠 套 *
* CF***銅墊 無氧銅 套 *
* CF**銅墊 無氧銅 套 *
* CF**銅墊 無氧銅 套 *
* 陶瓷板 特種陶瓷 板 *
二. 投標方資質要求：
*、符合政府采購法第二十二條之供應商資格規定。
*、在中華人民**國境內注冊的獨立法人且注冊資金在人民幣****萬元（含****萬元）以上。
*、投標方須有完善的售后服務體系，在用戶提出維護要求后，**小時內到達****實驗室。
三、設備報價
*. 報價單位應根據設備需求的規定進行報價，其報價在采購過程中是不可以改變的（除非買方對設備提出新的要求）。
*. 報價單位對設備需求中所列的設備進行報價。報價單位可以用技術規格等于或高于同類品種的設備進行報價。
*. 進行報價的設備必須同時附設備圖樣，主要技術性能、主要技術指標和具體配置的書面資料。
*. 報價以人民幣報價。
四、交貨時間
中標廠商須在合同簽約之日起**天內保質保量交付所有設備和附件。
五、驗收方式：
設備到貨后，由賣方、買方共同開箱驗貨；賣方保證貨品的型號、規格、數量與合同相符。賣方負責派工程師到用戶現場免費進行安裝調試，在系統整體調試完成后，買方認為合格后，簽訂系統安裝驗收報告。賣方應在設備到貨前一個月，對儀器實驗室場地條件,如工作臺、水、電、氣等配套設施提出建議并出具場地準備書。驗收一般應在二周之內完成，超過視作延期交貨。延期多少天，相應地質保期**延期天數的三倍（雙方另有約定除外）。
六、付款方式：
合同簽訂后付**%，設備到貨后付**%，驗收合格后付**%。
七、質量保證與售后服務
*. 質保期為自用戶簽署最終驗收報告之日起**個月，在質保期間出現故障，供貨商在接收到用戶通知后于*小時以內予以回應、提出解決方案，*小時內維修人員到場，**小時排除故障（特殊情況和不可抗拒因素除外）。在此期間，設備發生任何非誤操作造成的故障和損壞，均由供貨方負責免費修復，失效零件予以免費更換，更換時所發生的費用均由供貨方負擔。質量保證期內，停機待修時間不得超過一個月，若超過一個月，則保修期**待機時間的*倍。同時，提供軟件免費升級。
*. 貨物到達學校后*天內由賣方負責免費安裝、調試與技術培訓，調試儀器所需耗材由供貨方自行負擔。儀器安裝、調試時進行現場軟硬件使用的培訓：參與培訓人員*～*人；內容：設備的工作原理、操作步驟、正常維護和應用等，使培訓人員能夠正確、熟練操作及掌握儀器簡易的故障判別及排除、維修。培訓人員必須為供貨方公司專職技術人員，不得派出學生或供貨方用戶等非公司專職技術人員提供培訓，否則用戶方將拒絕接受。
*. 賣方根據合同提供的貨物應是全新的未使用過的而且是符合國家有關制作標準和環保要求。投標方提供詳細的中文操作、維護指南。
*. 定期維護，終身保修，只收取零部件成本費。
八、供貨方式：
中標單位與****按招標文件規定簽訂購貨合同，國產設備賣方根據買方提供的使用單位名稱、地址以及設備品種、數量和時間等，按時送貨到指定實驗室，并根據使用單位的要求調試合格，送貨等費用應包含在報價中。
九、投標人須知
*. 投標方應具有連續多年從事該設備生產或銷售經歷，并有良好的聲譽，且能提供良好的技術支持。
*. 投標方應完全按照標書規定的設備名稱、技術要求、數量報價、供貨，我處不接受不確定報價。
*. 投標方應保證隨設備提供必要的安裝、調試、培訓、維修等服務，并提供合同所約訂的免費維修時間及終身成本維修。
*. 投標報價中標明的價格或在議標后確定的價格在合同執行過程中是固定不變的（除非招標方對設備提出新的要求）不得以任何理由予以變更。
*. 投標方應在投標文件中注明投標貨物的交貨期，交貨期超過招標方可接受時間范圍的投標將視為非響應性投標。
*. 帶“*”的技術要求（參數）必須滿足，否則不與中標。若投標人少于二家，則中標人的投標價不做最終價。若中標人的投標價超出本次的設備經費預算，發標人有取消本次招標采購的權利。質保期的年限要求必須滿足，否則以廢標論處。
*. 投標方如對技術要求有質疑，須在開標日前三天以書面報告給招標人，招標人可作修改，也可不作修改。如作修改，招標人將以公告形式在網上公示。
十、投標書內容及要求
投標單位提供加蓋公章的投標書正本一份，副本三份。（投標方應將投標文件正本和副本分別用信封密封，并標明招標編號、投標貨物名稱、投標單位名稱及正本或副本。如果投標文件通過郵寄遞交，投標方應將投標文件用內、外兩層信封密封。并在外層標明招標編號、投標貨物名稱、投標單位名稱）投標書應包含以下內容：
*. 投標書（見附件*）、投標一覽表（見附件*、*）、投標分項明細表（見附件*、*）、偏離表（見附件*、*），投標設備樣本資料。
*. 投標方資質文件、資格證明（法人代表授權書（見附件*）、營業執照復印件、稅務登記證明復印件、原生產廠商授權書正本及復印件等）。
*. 質量、服務保證承諾書、備品備件、易損、易耗件清單和價格表等。
（注：具體附件下載詳見網頁：http://cms.shu.edu.cn/Default.aspx?tabid=*****）
十一、投標截止時間，開標時間、地點
*. 投標單位請在****年**月**日下午**：**前將標書送達****招投標科
（地址：*****路***號北大樓***室，郵編******）
*. 開標時間：****年**月**日**：**
*. 開標地址：*****路***號北大樓會議室
開標當場核驗參加開標會議的投標人授權代表的授權委托書和有
效身份證，確認授權代表的有效性，法定代表人出席開標會的要
出示其有效證件。
十二、評審費
中標供應商需支付專家評審費****.**元
十三、評審結果通知
組織專家評審小組進行評審，本次招標采用“百分制評標法” （投標單位三家及以上）。滿分***分，其中技術部分**分，商務部分**分。評審結果在****網站上公示(****主頁→實驗設備處→招投標→中標通知)
注：本招標書的內容與要求的解釋權歸****招投標科
聯系地址：*****路***號北大樓***室
郵編： ******
聯系人： 曹 蘭 電話：***-********
徐春生 電話：***-********
技術要求聯系人：李喜峰
電話：***-********
文件下載
- 招標導航
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工程施工 地基與基礎工程 樁基工程 預應力工程 防水工程 保溫工程 爆破工程 加固除險工程 改造改建工程 回填工程 燃氣工程 防腐工程 電氣防雷工程 空調采暖工程 地下室 停車場 鋼結構 膜結構 給排水 聲屏障 道路工程 橋梁工程 市政工程
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為保證您能夠順利投標，請在投標或購買招標文件前向招標代理機構或招標人咨詢投標詳細要求，有關招標的具體要求及情況以招標代理機構或招標人的解釋為準。
