物理氣相沉積鍍膜機（PVD）等招標公告

招標編號：0612-0840D0710036
   廣東省機電設備招標公司受買方委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2008年9月18日在公告。現邀請合格投標人參加投標。
1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數：
子包一：
  物理氣相沉積鍍膜機（PVD） 壹套。利用磁控濺射技術，制備金屬/合金/金屬氧化物薄膜，包括Al、W、Cr、Pt、Ti、Mo、MoW、a-IGZO等。儀器包括：基片裝載腔室和基片傳遞腔室、濺射腔室、控制系統、氣路系統等。

招標文件售價：800元人民幣或120美元
子包二：
  等離子增強化學氣相沉積鍍膜機（PECVD） 壹套。該儀器主要利用等離子放電使TEOS，SiH4、NH3、H2、N2O等氣態物質在灼熱的固體表面發生化學反應，并在該表面上沉積，形成穩定、均勻的Si、SiO2、SiNx等固態物質膜。儀器包括：基片裝載腔室和基片傳遞腔室、長膜腔室、控制系統、氣路系統等。

招標文件售價：800元人民幣或120美元
2、購買招標文件時間：即日起至投標截止時間止，每天09:00-17:00，節假日除外。
3、購買招標文件地點：廣東省機電設備招標公司，廣州市環市中路316號金鷹大廈10樓
4、投標截止時間和開標時間：2008-10-09 9:30:00
5、開標地點：華南理工大學南秀村物資大樓招標中心二樓會議室。 中標情況將在公示。
地址：***
郵編：510641
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電話：***
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聯系人***
開戶銀行（人民幣）：中國工商銀行廣州市一支行
開戶銀行（美元）：中國工商銀行廣州市一支行
帳號（人民幣）：3602000109000326441
帳號（美　元）：3602000109000326441