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膜厚監控儀等招標公告

信息發布日期：2006.07.11 標簽：廣東省招標

加入日期：	2006.07.11
截止日期：	2006.07.17
招標業主：	;廣東中山大學設備處
地區：	廣東省

招標公告正文

詳細資料(20060101943)申購單位：化學與化學工程學院
申購單主題：真空鍍膜機;膜厚監控儀;
經費科目： 985（引進人才）使用幣種：人民幣設備類型：機電設備
是否自報價：是
是否送貨：是送貨地點：中山大學化學南樓113室送貨時間： 2006-08-30 00:00
是否含稅：是
申購備注：
設備名稱設備品牌設備型號設備規格是否標配數量供應商
膜厚監控儀上海泰堯真空科技有限公司 FTM-V 監測厚度顯示范圍：0-99μ9999Å；厚度顯示分辨率：1Å；速率顯示范圍：0-9999.9Å；速率顯示分辨率：0.1Å；監測時間顯示范圍：1分-99小時；時間顯示分辨率：1秒；晶體振蕩頻率：自動顯示，新鮮晶片振蕩頻率接近于6MHZ；編程功能：設置鍍膜厚度 1Å-99μ9999Å，鍍膜層數十六層，貯存常用52種材料密度和聲阻抗參數，可任意調用。工具因子0.001-99.999，標準探頭，鍍膜巡回次數0-99次，巡回時間1分-99分鐘。包安裝。是 1 上海泰堯真空科技有限公司

設備名稱設備品牌設備型號設備規格是否標配數量供應商
真空鍍膜機北京北儀創新真空技術有限責任公司 DM-300B 鍍膜室(內徑×高)：φ300mm×450mm；可鍍工件直徑：φ180mm；極限壓力：5×10-4Pa；恢復真空抽氣時間（從大氣抽至2×10-3 Pa）：≤30min；加熱方式：電阻式；電極對數：4；名義功率：1.5kW；離子轟擊：0.6kW，~180mA；工件烘烤：0.5kW，~200℃；工件旋轉：10~30rpm（無級調速）；總功率：5kW；外形（長×寬×高）：1160mm×960mm×1540mm；鍍膜室上開有2個觀察孔。在鐘罩上增加一個法蘭孔，開孔尺寸φ40mm，用盲板密封。鍍膜室用1Cr19Ni9Ti不銹鋼制成。包安裝。是 1 北京北儀創新真空技術有限責任公司
2006-07-11 16:392006-07-17 00:00

聯系方式填：廣東中山大學設備處電話： 020-84111893

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